種微孔真空吸盤工作臺的制作方法

【技術領域】

[0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺，屬于機械設備領域。

【背景技術】

[0002]劃片刀用于精密加工，由于它的損耗速度非常快，因此需求量非常大。生產劃片刀需要使用晶圓劃片機，目前我國*有少數(shù)的幾家工廠擁有這種設備，在生產過程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術的晶圓劃片機的工作臺壽命較短，由于其結構的不合理通常I?6個月即會變形，在生產過程中，隨溫度變化也會變形加快。

【實用新型內容】

[0003]本實用新型的目的在于，提供一種微孔真空吸盤工作臺，它能夠解決現(xiàn)有技術的不足，提供一種結構更合理，使用壽命更長的工作臺。 特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米.潮州微孔陶瓷真空吸盤企業(yè)

氧化鋯陶瓷具

隨著社會不斷的發(fā)展，在結構陶瓷方面，由于氧化鋯陶瓷具有高韌性、高抗彎強度和高耐磨性，優(yōu)異的隔熱性能，熱膨脹系數(shù)接近于鋼等優(yōu)點，因此被廣泛應用于結構陶瓷領域。那么氧化鋯陶瓷可以應用在哪些方面呢？

一、耐火材料

氧化鋯陶瓷的化學性質穩(wěn)定，具有良好的熱穩(wěn)定性以及耐熱沖擊性，因此可以作為耐熱陶瓷涂層和高溫耐火制品。還能把它加到其他的耐火材料中，以提高耐火性。

氧化鋯材質的耐火材料主要包括：氧化鋯定徑水口、氧化鋯坩堝、氧化鋯耐火纖維、鋯剛玉磚以及氧化鋯空心球耐火材料等，這些材料主要應用在冶金和硅酸鹽等行業(yè)中。 潮州微孔陶瓷真空吸盤企業(yè)微孔陶瓷真空吸盤的微小孔隙結構可以有效地防止漏氣，確保真空吸附的穩(wěn)定性。

    高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺，廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應用***用于平坦，無孔表面的工作平臺。使用者通常是機器操作員。在金屬加工領域，這是一項安全可靠的工件傳輸。自動化搬運、對象吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力，將工作物（包括晶圓、玻璃、PET膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上，利用真空吸力使工作物固定，進行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盤是各種半導體片生產過程中用于吸附及承載的**工具，應用于減薄、劃片、清洗、搬運等工序。Fountyl公司生產的工作盤可以和日本、德國、以色列、美國及國產的設備配套使用，具有優(yōu)越的性能價格比。

真空吸盤要求高孔隙率，超微細孔徑的場合，F(xiàn)ountyl微孔陶瓷正空吸盤，孔大小在30微米到60微米的范圍。微孔陶瓷的結構形狀有很多種，都是由無數(shù)不同規(guī)格的硅酸鋁瓷質顆粒**而成，**時不同規(guī)則地形成了幾十微米到0.1微米的自由空隙，經(jīng)過摻入高溫（１5００℃）的溶蝕粘結物，再經(jīng)燒結而獲得強度大、空隙多而小、耐腐蝕、耐高溫的微孔陶瓷。經(jīng)特殊工藝加工出來的微孔陶瓷材料，采用粗細均勻的顆粒，加工出來的陶瓷板具有孔徑分布均勻，研磨后的表面光滑平整，可替代國外進口材料，是各種半導體片生產過程中用于吸附及承載的**工具，應用于減薄、劃片、清洗、搬運等工序，廣泛應用于半導體、印刷、電子陶瓷等行業(yè)的真空吸盤設備。微孔陶瓷真空吸盤采用陶瓷材料制成，具有高溫耐性和耐腐蝕性能，適用于各種工業(yè)應用。

水熱－熱靜壓工藝

該工藝通過水作為壓力傳遞介質制備各種孔徑多孔陶瓷。其簡單制備步驟為：硅凝膠和10%(質量百分數(shù))的水混合，置于高壓釜中(壓力10—15MPa，溫度300℃)，通過水蒸汽的揮發(fā)而制成多孔陶瓷。水熱－熱靜壓工藝中，反應時間一般為10—180 min。在25MPa下處理60min，制得的多孔陶瓷材料體積密度為0.88 g/cm，孔體積為0.59cm/g，孔尺寸分布范圍為30~50nm，抗壓強度高達80MPa。多孔陶瓷水熱－熱靜壓工藝具有以下優(yōu)點：制得的多孔陶瓷材料抗壓強度高、性能穩(wěn)定、孔徑分布范圍廣。 真空吸盤要求高孔隙率，超微細孔徑的場合.惠州庫存微孔陶瓷真空吸盤哪個牌子好

陶瓷內氣孔率，氣孔徑可根據(jù)用途固定。潮州微孔陶瓷真空吸盤企業(yè)

有機泡沫浸漬工藝

有機泡沫浸漬法是用有機泡沫浸漬陶瓷漿料，干燥后燒掉有機泡沫，獲得多孔陶瓷的一種方發(fā)泡工藝法。該法適于制備高氣孔率、開口氣孔的多孔陶瓷。這種方法制備的泡沫陶瓷是目前**主要的多孔陶瓷之一。

溶膠－凝膠工藝

溶膠- 凝膠工藝主要利用凝膠化過程中膠體粒子的堆積以及凝膠處理、熱處理等過程中留下小氣孔,形成可控多孔結構。這種方法大多數(shù)產生納米級氣孔,多用來生產微孔陶瓷。溶膠－凝膠工藝是一種新的制備多孔陶瓷的工藝,與其它工藝相比有其獨特之處。例如,用溶膠－凝膠法制備氧化鋁多孔陶瓷,與顆粒混合、泡沫浸漬、噴霧干燥顆粒等方法相比較,溶膠－凝膠法可進一步改善氧化鋁多孔陶瓷孔徑分布的控制、相變、純度及顯微結構。 潮州微孔陶瓷真空吸盤企業(yè)

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