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深圳銷(xiāo)售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-04-05

使用匯編語(yǔ)言編寫(xiě)計(jì)算機(jī)程序,程序員仍然需要十分熟悉計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu),所以從程序設(shè)計(jì)本身上來(lái)看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語(yǔ)言與計(jì)算機(jī)硬件系統(tǒng)關(guān)系密切,在某些特定的場(chǎng)合,如對(duì)時(shí)空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實(shí)時(shí)控制程序等,迄今為止匯編語(yǔ)言仍然是十分有效的程序設(shè)計(jì)工具。工業(yè)機(jī)械臂目前還沒(méi)有統(tǒng)一的分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類(lèi)。一、按驅(qū)動(dòng)方式分1.液壓式 液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂通常由液動(dòng)機(jī)(各種油缸、油馬達(dá))、伺服閥、油泵、油箱等組成驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),由驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂的執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作。通常它具有很大的抓舉能力(高達(dá)幾百公斤以上),其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊,動(dòng) 作平穩(wěn),耐沖擊,耐振動(dòng),防爆性好,但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能,否則漏油將污染環(huán)境。2.氣動(dòng)式 其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)通常由氣缸、氣閥、氣罐和空壓機(jī)組成,其特點(diǎn)是氣源方便,動(dòng)作迅速、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)較低、維修方便。但難以進(jìn)行速度控制,氣壓不可太高,故抓舉能力較低。因此,在設(shè)計(jì)手臂時(shí),須根據(jù)機(jī)械手抓取重量、自由度數(shù)、工作范圍、運(yùn)動(dòng)速度及機(jī)械手的整體布局。深圳銷(xiāo)售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理

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與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比,蛙腿型機(jī)械手的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)更簡(jiǎn)單,剛性更高,且工作效率更高。如上圖所示,蛙腿型機(jī)械手手臂為對(duì)稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu),包括1對(duì)大臂和2對(duì)小臂。2個(gè)直驅(qū)電機(jī)分別通過(guò)2個(gè)同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂,大臂末端通過(guò)4個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對(duì)小臂,2對(duì)小臂的末端又通過(guò)2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤(pán)。 該機(jī)械手雖然只有3個(gè)電機(jī),但水平連桿卻有10個(gè)旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié),因此對(duì)整個(gè)真空機(jī)械手建立旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)坐標(biāo)與末端晶圓托盤(pán)坐標(biāo)之間的函數(shù)關(guān)系是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程深圳銷(xiāo)售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來(lái)越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。

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例如:尋找,運(yùn)輸,握取,對(duì)準(zhǔn),裝配,檢驗(yàn)等動(dòng)作. 為了明確地描述工業(yè)機(jī)械人,美國(guó)機(jī)械人協(xié)會(huì)在1979年將機(jī)械人定義為一個(gè)可用程式控制,多功能的操作器,它透過(guò)程式控制和多變化的動(dòng)作設(shè)計(jì)來(lái)移動(dòng)材料,工件,工具或特別設(shè)備,以完成一連串的工作.所以,雖然許多工業(yè)機(jī)械人并非有人的形態(tài),但只要它們符合機(jī)械人的定義,便可以稱為機(jī)械人.工業(yè)機(jī)械人雖然已被廣泛應(yīng)用在多種制造行業(yè)內(nèi),但估計(jì)在不久將來(lái)還會(huì)有數(shù)以十萬(wàn)計(jì)的工業(yè)機(jī)械人投入服務(wù).現(xiàn)時(shí),不少研究人員正為機(jī)械人研究如何加入視覺(jué)和感覺(jué),令機(jī)械人可以完成更復(fù)雜的工作.而研究機(jī)械人的學(xué)問(wèn)稱為機(jī)械人學(xué)。

    近年來(lái)全球硅晶圓供給不足,導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見(jiàn)度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國(guó)內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開(kāi)始籌備,期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴,并有足夠的能力滿足市場(chǎng)需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟:硅提煉及提純、單晶硅生長(zhǎng)、晶圓成型。一,晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃,并且有碳源存在的電弧熔爐中,在高溫下,碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)(碳氧結(jié)合,得硅),提純得純度約為98%的純硅,又稱冶金級(jí)硅,這對(duì)微電子器件來(lái)說(shuō)依然不夠純,因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對(duì)雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿舾?,因而?duì)冶金級(jí)硅作進(jìn)一步提純:將粉碎的冶金級(jí)硅與氣態(tài)的氯化氫進(jìn)行氯化反應(yīng),生成液態(tài)的硅烷,然后通過(guò)蒸餾和化學(xué)還原工藝,得到了高純度的多晶硅,其純度達(dá)99%,成為電子級(jí)硅。 真空腔體開(kāi)口于所述鋁合金平板上表面.

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一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手,該真空吸附機(jī)械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái);設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后,晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會(huì)形成印記,提高了晶圓的合格率。有X移動(dòng),Y移動(dòng),Z移動(dòng),X轉(zhuǎn)動(dòng),Y轉(zhuǎn)動(dòng),Z轉(zhuǎn)動(dòng)六個(gè)自由度組成。深圳銷(xiāo)售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理

手臂自重輕,其啟動(dòng)和停止的平穩(wěn)性就好。深圳銷(xiāo)售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理

可選地,所述托板包括:

主板;

排列成八字形的***支板和第二支板,在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接;

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。

可選地,所述表面為平面。

另外,本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí),晶圓放置在托板的表面,并與絨毛墊接觸,借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上,不易發(fā)生平移,這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述,本實(shí)用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚。 深圳銷(xiāo)售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理

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