半導體行業(yè)，尤其是集成電路領域，晶圓的身影隨處可見。

晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結構，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上，都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的?？梢姡A在實際應用之中還是要被切割成方形的。

所以疑問?來了——硅片為什么要做成圓的？為什么是“晶圓”，而不做成“晶方”？

要解釋這個問題，有兩方面的原因：一方面似乎是由“基因決定的”；另一方面是“環(huán)境造成的”。 實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學特性?；葜菥A運送機械吸臂賣價

    6)自適應控制。采用組合自適應控制將系統(tǒng)劃分成關節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng)。利用參數(shù)線性化的方法設計自適應控制規(guī)則來辨識柔性機械臂的不確定性參數(shù)。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機械臂進行了**控制器的設計?？刂破鞯脑O計是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和自適應控制設計。通過狀態(tài)轉換將系統(tǒng)分成兩個子系統(tǒng)。用自適應控制和魯棒控制分別對兩個子系統(tǒng)進行控制。7)PID控制。PID控制器作為很受歡迎和**廣泛應用的控制器,由于其簡單、有效、實用,被普遍地用于剛性機械臂控制,常通過調整控制器增益構成自校正PID控制器或與其它控制方法結合構成復合控制系統(tǒng)以改善PID控制器性能。8)變結構控制。變結構控制系統(tǒng)是一種不連續(xù)的反饋控制系統(tǒng),其中滑?？刂剖?*普遍的變結構控制。其特點;在切換面上,具有所謂的滑動方式,在滑動方式中系統(tǒng)對參數(shù)變化和擾動保持不敏感,同時,它的軌跡位于切換面上,滑動現(xiàn)象并不依賴于系統(tǒng)參數(shù),具有穩(wěn)定的性質。變結構控制器的設計,不需要機械臂精確的動態(tài)模型,模型參數(shù)的邊界就足以構造一個控制器。 湛江庫存晶圓運送機械吸臂價格優(yōu)惠合理選擇機械手的坐標形式。直角坐標式機械手的位置精度較高，其結構和運動都比較簡單、誤差也小。

    控制策略對柔性機械臂的控制一般有如下方式,1)剛性化處理。完全忽略結構的彈性變形對結構剛體運動的影響。例如為了避免過大的彈性變形破壞柔性機械臂的穩(wěn)定性和末端定位精度NASA的遙控太空手運動的比較大角速度為。2)前饋補償法。將機械臂柔性變形形成的機械振動看成是對剛性運動的確定性干擾而采用前饋補償?shù)霓k法來抵消這種干擾。德國的BerndGebler研究了具有彈性桿和彈性關節(jié)的工業(yè)機器人的前饋控制。張鐵民研究了基于利用增加零點來消除系統(tǒng)的主導極點和系統(tǒng)不穩(wěn)定的方法設計了具有時間延時的前饋控制器和PID控制器比較起來可以更加明顯的消除系統(tǒng)的殘余振動。SeeringWarrenP。等學者對前饋補償技術進行了深入的研究。

一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手，其特征在于，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構成所述真空氣道的其中一段；位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺，所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內(nèi)；在垂直于所述手臂的方向上，所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。手臂上的零部件，如油缸、導向桿、控制件等都安裝在手臂上。

與剛性機械臂相比較，柔性機械臂具有結構輕、載重/自重比高等特性，因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率，其響應快速而準確，有著很多潛在的優(yōu)點，在工業(yè)、**等應用領域中占有十分重要的地位。隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來越多地采用由若干個柔性構件組成的多柔體系統(tǒng)。傳統(tǒng)的多剛體動力學的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統(tǒng)的動力分析及控制的要求。柔性機械臂作為簡單的非平凡多柔體系統(tǒng)，被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型。 一般機構可由電力、液壓、氣動、人力驅動。湛江庫存晶圓運送機械吸臂價格優(yōu)惠

盡管它們的形態(tài)各有不同，但它們都有一個共同的特點，就是能夠接受指令.惠州晶圓運送機械吸臂賣價

3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機械臂的末端軌跡控制問題。4) 被動阻尼控制。為降低柔性體相對彈性變形的影響 選用各種耗能或儲能材料設計臂的結構以控制振動。 或者在柔性梁上采用阻尼減振器、阻尼材料、復合型阻尼金屬板、、阻尼合金或用粘彈性大阻尼材料形成附加阻尼結構均屬于被動阻尼控制。 近年來 粘彈性大阻尼材料用于柔性機械臂的振動控制已引起高度重視。RoSSi Mauro 和Wang David研究了柔性機器人的被動控制問題。5) 力反饋控制法。柔性機械臂振動的力反饋控制實際上是基于逆動力學分析的控制方法 即根據(jù)逆動力學分析 通過臂末端的給定運動求得施加于驅動端的力矩 并通過運動或力檢測對驅動力矩進行反饋補償?；葜菥A運送機械吸臂賣價

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