10.1.1潔凈廠房內應根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應根據(jù)氣體用量、氣體品質和當?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術經(jīng)濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng)，除應符合本規(guī)范外，還應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設計規(guī)范》GB50030等的有關規(guī)定。10.1.4潔凈廠房內的氣體管道的干管，應敷設在技術夾層或技術夾道內。當與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線上部。室內空氣的流動形態(tài)和分布。江蘇消毒液凈化車間環(huán)境無塵室檢測技術好

E.2.1靜壓差的測定應在所有房間的門關閉時進行，有排風時，應在比較大排風量條件下進行，并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差，直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境（或向室外開口的房間）之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室，還應測定在門開啟狀態(tài)下，離門口0.6m處的室內側工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關閉的開口與鄰室相通的潔凈室，還應測定開口處的流速和流向。E.2.1靜壓差的測定應在所有房間的門關閉時進行，有排風時，應在比較大排風量條件下進行，并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差，直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境（或向室外開口的房間）之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室，還應測定在門開啟狀態(tài)下，離門口0.6m處的室內側工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關閉的開口與鄰室相通的潔凈室，還應測定開口處的流速和流向。安徽氣流無塵室檢測目的無塵室極主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設備、生產(chǎn)環(huán)境控制設施協(xié)調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。

6.3.1管道安裝前應進行以下準備工作：1配管下料時應采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具，不應采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應與管軸線垂直，切口表面應平整、無裂紋，應去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時，宜用成品連接件。4普通不銹鋼管應在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。5氧氣管道及附件，安裝前應按相關規(guī)定方法進行脫脂，脫脂應在遠離潔凈室的地點進行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護工作。沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。

2.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡結構，并應具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調節(jié)潔凈室（區(qū)）的送風量或回風量。12.4.4凈化空調系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯(lián)鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調速等節(jié)能控制措施。指潔凈室內離地面高度0.8~15m(除工藝特殊要求外）的區(qū)域。浙江排風柜無塵室檢測規(guī)范性強

空間內其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制?？梢允情_放式或封閉式。江蘇消毒液凈化車間環(huán)境無塵室檢測技術好

4潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術夾層(不包括不通行的技術夾層)應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。12.3.5潔凈廠房應設置火災自動報警及消防聯(lián)動控制?？刂圃O備的控制及顯示功能應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50116的有關規(guī)定，潔凈室（區(qū)）火災報警應進行核實，當確認火災后，在消防控制室應對下列各項進行手動控制：1關閉有關部位的電動防火閥，停止相應的凈化空調系統(tǒng)的送風機、排風機和新風機，并接收其反饋信號；2啟動排煙風機，并接收其反饋信號；3.在消防控制室或低壓配電室，手動切斷有關部位的非消防電源。江蘇消毒液凈化車間環(huán)境無塵室檢測技術好